Preferred term
kemisk gasfasdeponering
Type
- http://www.yso.fi/onto/yso-meta/Concept
Broader concept
Narrower concepts
Entry terms
- CVD
- CVD-beläggning
- kemisk ångavsättning
- kemisk ångdeponering
Belongs to group
In other languages
English
Finnish
- kemiallinen kaasufaasipinnoitus
- CVD
- CVD-pinnoitus
- kemiallinen kaasufaasikasvatus
URI
http://www.yso.fi/onto/yso/p39016