Käytettävä termi
kemisk gasfasdeponering
Tyyppi
- http://www.yso.fi/onto/yso-meta/Concept
Yläkäsite
Alakäsitteet
Ohjaustermit
- CVD
- CVD-beläggning
- kemisk ångavsättning
- kemisk ångdeponering
Kuuluu ryhmään
Muunkieliset termit
englanti
suomi
- kemiallinen kaasufaasipinnoitus
- CVD
- CVD-pinnoitus
- kemiallinen kaasufaasikasvatus
URI
http://www.yso.fi/onto/yso/p39016