Käytettävä termi
optisk litografi (mikrotillverkning)
Tyyppi
- Allmänbegrepp
Yläkäsite
Kuuluu ryhmään
Muunkieliset termit
englanti
- photolithography (microfabrication)
- optical lithography (microfabrication)
URI
http://www.yso.fi/onto/yso/p38923