Käytettävä termi
micro-electromechanical systems
Tyyppi
- General concept
Yläkäsite
Ohjaustermit
- MEMS
- microelectromechanical systems
Kuuluu ryhmään
Muunkieliset termit
ruotsi
- mikrosystem (mikroteknik)
- MEMS
- mikroelektromekaniska system
suomi
URI
http://www.yso.fi/onto/yso/p40584